*瑞士INFICON隔膜真空計

INFICON隔膜真空計CDG045D2是一種高精度真空測量儀器，專為惡劣的制造環(huán)境而設計。經(jīng)過驗證的溫控，耐腐蝕，超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性，并具有*的零穩(wěn)定性。Edge附帶INFICON*傳感器屏蔽，可保護儀表免受不良過程副產(chǎn)品的影響。良好的電子元件為所有應用和可選的EtherCAT現(xiàn)場總線接口提供廣泛的可配置信號調(diào)理。創(chuàng)新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽，節(jié)省了寶貴的工具空間。INFICON Edge是同類產(chǎn)品中小的真空測量儀器。

瑞士INFICON隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計，其基本原理如圖1所示。電容式隔膜真空計內(nèi)部有兩個空間，隔膜右側(cè)連接真空，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。如果p2 <p1，則隔膜就如圖1所示向右側(cè)變形;反之，就向左側(cè)變形。隔膜和電極之間處于絕緣狀態(tài)，兩者之間的距離隨p2 的變化而改變，從而引起其間的電容變化。反過來，通過測量隔膜和電極之間的電容，就可知隔膜的變形量，繼而推算出壓強。

p1 和p2之間的壓強差很小時，隔膜的變形也很小，要精確地測量真空度，需要隔膜更薄?？墒?，如果兩側(cè)壓強差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側(cè)分別設置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計，進一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應快、重復性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。

可以*替代美國MKS的真空計。MKS真空計是美國原廠原裝，因為此產(chǎn)品大部分使用在*方面，再加上中美貿(mào)易戰(zhàn)的影響，美方政府限制MKS的真空計進口到現(xiàn)貨，所以之前很多使用美國MKS真空計的用戶們感到非常頭疼，我司了解到了這樣的情況后，讓我司高級工程師徐工找了很多品牌的真空計試圖替代美國MKS真空計，反復試驗了很多次之后，終于找出了一款可以*替代美國MKS真空計的產(chǎn)品，它就是瑞士INFICON，以上就是我為大家講解的瑞士INFICON其中一款真空計的原理及用途！

*瑞士INFICON隔膜真空計

特點：
緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成，EtherCAT，各種滿量程和法蘭，標準有兩個設定點
輕松一鍵式或遠程信號零點命令，零點偏移可調(diào)
診斷端口，用于快速維護和維護
兩年保修，更長的使用壽命，良好的加熱概念和儀表保護
即使在惡劣的等離子應用中，由于出色的信號穩(wěn)定性和可重復性，也無需長期重新校準
合規(guī)性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS
典型應用
CVD，蝕刻，PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝

產(chǎn)品規(guī)格

類型 1000托，1100毫巴 500 ... 1 Torr / mbar

準確度（1） 讀數(shù)百分比 0.15 0.15

溫度效應  

零 ％FS /°C 0.0025 0.0025

在跨度上 讀數(shù)％/°C 0.01 0.01

壓力，大 kPa（值） 400 260

解析度 百分比FS 0.003 0.003

讀數(shù)低 百分比FS 0.01 0.01

建議讀數(shù)低 百分比FS 0.05 0.05

建議的低控制壓力 百分比FS 0.5 0.5

溫度  

傳感器 ℃下 45 45

操作（環(huán)境） ℃下 +10 ... +40 +10 ... +40

法蘭烘烤 ℃下 ≤110 ≤110

存儲 ℃下 -20 ... +65 -20 ... +65

電源電壓 +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％）

能量消耗  

在加熱期間 w ^ ≤15 ≤15

在工作溫度下 w ^ ≤10 ≤10

輸出信號（模擬） V（直流） 0 ... +10 0 ... +10

回復時間（2） 女士 三十 三十

防護等級 IP 40 IP 40