392系列Micro-Ion®Plus是第二代全量程壓力測(cè)量模塊結(jié)合了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的Micro-Ion®電離規(guī)技術(shù)和微型Pirani Conductron熱損失傳感器可提供準(zhǔn)確，連續(xù)的壓力從高真空到大氣的測(cè)量。 
392系列微離子Plus結(jié)合了Granville-Phillips®行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和經(jīng)過(guò)應(yīng)用測(cè)試的微離子電離傳感器，帶有創(chuàng)新的微型皮拉尼導(dǎo)體安裝在緊湊型電子設(shè)備上的單個(gè)儀表總成外殼中的傳感器控制模塊。這種緊湊的模塊化設(shè)計(jì)減少了單獨(dú)儀表的數(shù)量，全系列通常需要的真空接口，電纜和控制電子設(shè)備壓力測(cè)量。全量程壓力測(cè)量作為單個(gè)模擬輸出信號(hào)或通過(guò)可選的串行RS-485或DeviceNet™數(shù)字接口提供。取決于提供了三個(gè)可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器，可以將它們配置為用于過(guò)程控制在整個(gè)真空范圍內(nèi)的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲(chǔ)器包含工廠校準(zhǔn)信息。電存儲(chǔ)器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級(jí)的校準(zhǔn)精度，并跟蹤量規(guī)的使用信息，以便MKS服務(wù)團(tuán)隊(duì)可以快速了解您的應(yīng)用程序環(huán)境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過(guò)在量規(guī)范圍內(nèi)進(jìn)行更好的熱管理。后，392系列和390系列微離子ATM現(xiàn)在共享一個(gè)通用平臺(tái)以提高產(chǎn)品質(zhì)量通過(guò)大批量制造。 特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
•連續(xù)壓力測(cè)量高真空
•緊湊的多傳感器量規(guī)設(shè)計(jì)
•消除了兩個(gè)獨(dú)立的需求量規(guī)
•雙電離規(guī)燈絲增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間
•電離規(guī)激活自動(dòng)化和停用
•可選的模擬，RS-485或DeviceNet介面
•RS-485和DeviceNet具有可選用于過(guò)程控制的設(shè)定點(diǎn)繼電器
•可選的法蘭配置
•現(xiàn)場(chǎng)可更換量規(guī)，低擁有成本
•電子量規(guī)管存儲(chǔ)器可確保放置的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性量規(guī)
•改進(jìn)的微型皮拉尼導(dǎo)體準(zhǔn)確性
•利用第二代產(chǎn)品Granville-Phillips真空吸塵器的30年量規(guī)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)
•由MKS服務(wù)支持計(jì)劃支持 |
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